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全自動槽式清洗機的特點與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機的特點與用途
全自動槽式清洗機廣泛應用于集成電路、微機電系統(tǒng)和光伏領域里的CMP后清洗工藝。清洗機可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創(chuàng)新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表面的細微顆粒污染物去除，實現(xiàn)高效去除?？商峁┒鄠€槽體進行化學藥液或純水，結合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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全自動槽式清洗機的特點與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機的特點與用途
全自動槽式清洗機廣泛應用于集成電路、微機電系統(tǒng)和光伏領域里的CMP后清洗工藝。清洗機可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創(chuàng)新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表面的細微顆粒污染物去除，實現(xiàn)高效去除?？商峁┒鄠€槽體進行化學藥液或純水，結合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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全自動槽式清洗機的特點與用途
2022-04-10
全自動槽式清洗機的特點與用途
全自動槽式清洗機廣泛應用于集成電路、微機電系統(tǒng)和光伏領域里的CMP后清洗工藝。清洗機可以用于對晶圓表面，背面及晶圓邊緣的清洗，通過自主創(chuàng)新的二流體噴嘴技術可將附著在晶圓表面的細微顆粒污染物去除，實現(xiàn)高效去除?？商峁┒鄠€槽體進行化學藥液或純水，結合噴淋、溢流、快速沖洗等清洗方式，配合先...
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